Isolanti ceramici fresati a 5 assi per apparecchiature a semiconduttori è camere bianche

In u mondu à altu livellu di a fabricazione di semiconduttori è di l'ambienti di stanza bianca, ogni cumpunente deve furnisce prestazioni impeccabili. ÀPFT, simu spezializati in l'artigianatuIsolanti ceramici fresati à 5 assichì ridefiniscenu a precisione è l'affidabilità. Cù più di 20+Cù anni di cumpetenza, e nostre suluzioni sò cuncepite per risponde à e esigenze esigenti di l'equipaggiamenti à semiconduttori, assicurendu a stabilità termica, l'isolamentu elettricu è un funziunamentu senza contaminazione in ambienti ultra sensibili.

Perchè sceglie i nostri isolanti ceramici fresati a 5 assi?

1.Capacità di Fabbricazione Avanzate

A nostra struttura hè dotata difresatrici CNC a 5 assi all'avanguardia, chì permette una precisione à livellu di micron in a furmazione di ceramiche avanzate cum'è l'alumina (Al₂O₃), u carburu di siliciu (SiC) è u nitruru d'aluminiu (AlN). À u cuntrariu di i metudi cunvinziunali, a machinazione à 5 assi permette geometrie cumplesse, critiche per cumpunenti cum'è i perni di sollevamentu di e wafer, e parti di a camera di deposizione è l'isolanti resistenti à u plasma.

Caratteristiche principali:

•Precisione:Tolleranza di ±0,005 mm per una integrazione perfetta in strumenti di litografia ASML o sistemi di incisione Lam Research.
•Versatilità di i materiali:Ottimizatu per 99,8% d'alumina, SiC d'alta purezza è altre ceramiche avanzate.
•Finitura di a superficia:Ra <0,2 μm per minimizà a generazione di particelle in camere bianche di Classe 1 ISO.

2.Ingegneria di Prucessu Pruprietaria

I nostri ingegneri anu sviluppatucuntrolli di prucessu à ciclu chjusuchì s'adattanu à a fragilità di a ceramica durante a machinazione. Cumbinendu e tecniche di fresatura a secco cù u smorzamentu di vibrazioni in tempu reale, ottenemu superfici senza crepe è una durata di vita estesa di i cumpunenti, ancu sottu cicli termichi estremi (finu à 1.600 ° C).

Focus nantu à l'innuvazione:

•Protocolli di Sollievu di u Stress:Minimizà e microfratture in l'isolanti AlN per l'applicazioni CVD.
•Trattamenti post-lavorazione:HIP (Hot Isostatic Pressing) migliora a densità è a resistenza à a corrosione.

3.Assicurazione di qualità rigorosa

Ogni isolante subisceIspezione in 12 tappe, cumpresi:

•CMM (Macchina di Misurazione a Coordinate)validazione di e dimensioni critiche.
•Prova di perdite d'eliuper a cumpatibilità cù u vacuum.
•EDS (Spettroscopia di raggi X à dispersione d'energia)per verificà a purità di u materiale.

U nostruSistema certificatu ISO 9001/14001assicura a tracciabilità da l'acquistu di materie prime (fornite da fornitori di Tier 1 cum'è CoorsTek) finu à l'imballaggio finale.

Applicazioni: Induve a precisione incontra a prestazione

I nostri isolanti sò di fiducia in:

•Strumenti di incisione è deposizione:Cumponenti rivestiti di SiC per a resistenza à u plasma in i moduli Applied Materials™.
•Impiantatori di ioni:Perni di sollevamentu in allumina cù rivestimenti antistatici per impedisce u slittamentu di e cialde.
•Sistemi di Metrologia:Isolanti à bassa dilatazione termica per tavoli di litografia EUV.

Studiu di casu:Un fabricatore d'equipaggiu originale di semiconduttori hà riduttu u tempu di inattività di l'utensili di 40% dopu avè cambiatu à i nostri soffioni doccia SiC cuncepiti apposta, chì anu superatu e parti di i cuncurrenti in a trasfurmazione di wafer di 300 mm.

Oltre a fabricazione: Un approcciu di partenariatu

•Prototipazione Rapida:Mandate i vostri fugliali CAD è ricevete prototipi funziunali in 7 ghjorni.
•Imballaggio in camera bianca in situ:Assemblaggio opzionale di sala bianca di Classe 10 per l'integrazione diretta di strumenti.
•Assistenza tecnica à vita:I nostri ingegneri furniscenu analisi di l'usura è servizii di rilavorazione per allargà i cicli di vita di i cumpunenti.